| 一种二维光栅三量程光栅光谱仪 |
| CN202111161543.8 2021-9-30 发明申请 |
| 2021-12-28 |
| 本发明公开了一种二维光栅三量程光栅光谱仪，涉及光栅光谱仪领域，包括二维光栅、探测阵列和光路元件，其特征在于：二维光栅为二维矩形晶格非对称周期三量程的亚波长光栅，包括衬底、光栅和抗反射结构，衬底位于光栅的底面；探测阵列包括CCD接收器，CCD接收器接收经二维光栅后产生的自由空间衍射光；光路元件包括托盘和转轴，托盘上表面设置有二维光栅；转轴转动时，带动托盘旋转，从而利用二维光栅的不同周期，实现光栅光谱仪测量量程的切换。本发明结构紧凑，量程宽，灵敏度高，可适应各种复杂环境且价格低廉。 |
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