| 一种波导光栅以及一种量程可调的光栅光谱仪 |
| CN202111161525.X 2021-9-30 发明申请 |
| 2021-12-24 |
| 本申请提供一种波导光栅，包括波导与光栅，其特征在于，所述波导与所述光栅在所述光栅的周期性结构处连接，所述波导被配置为当入射光经过光栅反射后，同时产生自由空间衍射光和波导模式光。本申请还提供了一种包括上述波导光栅的光栅光谱仪，通过托盘上设置多个波导光栅实现量程可调的功能。本申请通过波导出射面的设置，以及配合反射镜的设置，增加了反射光的光程，使得不同波长成分的光在空间上充分分离，提高了测量灵敏度。且结构简单，成本低廉，适合大规模生产。 |
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