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带迈克尔逊干涉仪的傅立叶变换红外光谱仪及其方法
JP2021501501 2019-2-28 发明申请
2021-12-23
迈克尔逊干涉仪包括固定反射镜,可动反射镜,移动机构和分束器。 可动反射镜被设置为能够在一个方向和与该一个方向相反的方向上移动。 移动机构使可动镜在一个方向和相反的方向上移动。 迈克尔逊干涉仪还包括倾斜检测单元和确定单元。 倾斜检测单元在可移动反射镜移动时检测可移动反射镜的倾斜。 判定部基于检测出的倾斜的变化判定移动机构的劣化。
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