| 单色激发X射线荧光光谱仪 |
| CN201811272585.7 2018-10-30 发明申请 |
| 2018-12-18 |
| 本发明公开了一种单色激发X射线荧光光谱仪，包括：(1)被选择用于产生x射线光束的x射线源，(2)将X射线源产生的X射线光束聚焦到样品上的光学器件，并选择期望能量的x射线, (3)能量分辨X射线探测器。单色激发X射线荧光光谱仪配置如下：(i)X射线源采用一个不大于50W的小功率X光管，其发出的x射线是发散的，并有一个确定的光斑尺寸，(ii)光学元件采用对数螺线旋转双曲面人工晶体，从而完全且只聚焦X射线源所发出的期望能量的x射线，并且具有极高的衍射效率，(iii)能量分辨X射线探测器优选地采用硅漂移半导体探测器。采用上述配置的光谱仪，是一种小型、简单、低价、特别是具有极低检出限的单色激发X射线荧光光谱仪。 |
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