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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

扫描电子显微镜和测量方法

US16254965 2019-1-23 发明申请

2019-7-25

一种扫描电子显微镜，包括FIB柱，SEM柱和控制FIB柱和SEM柱的控制单元。控制单元执行 : 处理以控制FIB柱，使得以预定间隔重复暴露样品S的横截面；在每次曝光试样S的横截面时，通过用电子束照射试样S的横截面来执行第一测量以获得第一图像的处理；以及当样品S的横截面被曝光N次(N是2或更大的整数)时，通过每次用电子束照射样品S的横截面来执行第二测量以获得第二图像的处理。