| 利用可调谐法布里-珀罗干涉仪的气体混合物的光声光谱 |
| EP20178591 2020-6-5 发明申请 |
| 2021-12-8 |
| 本发明优选涉及一种用于分析气体混合物中的几种气体组分的光声光谱仪， 包括具有微加热元件的红外发射器， 可填充气体混合物的测量单元和声压检测器，其中测量单元存在于红外发射器的光束路径中， 因此，由测量单元中的红外发射器气体发射的红外辐射可以激发声压波的形成，声压波可以借助于声压检测器激发。 所述光声光谱仪的特征在于，所述红外发射器包括MEMS法布里-珀罗干涉仪，所述MEMS法布里-珀罗干涉仪单片地集成在所述微加热元件上，并且通过所述MEMS法布里-珀罗干涉仪可以对红外辐射进行时间和波长相关的调制。 此外，本发明优选地涉及一种借助这种光声光谱仪分析几种气体组分的方法。 |
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