| 透射电镜原位液体环境力学试验平台 |
| CN201910347092.3 2019-4-26 发明申请 |
| 2019-7-23 |
| 本发明涉及材料原位微纳实验平台领域,提供一种透射电镜原位液体环境力学试验平台,包括样品杆和装载台,装载台包括下芯片、上芯片和加载器件。下芯片上表面设有第一凹槽,第一凹槽底面设有沟槽,沟槽的底面设有下薄膜窗口和两个第一通孔;上芯片的下表面设有第二凹槽和上薄膜窗口,第二凹槽和第一凹槽形成用于安装加载器件的容置空间,上芯片的上表面设有热电阻;上芯片下表面与下芯片上表面连接,加载器件下表面与第一凹槽底面连接,加载器件设有驱动梁,驱动梁设有样品搭载区;下薄膜窗口、样品搭载区和上薄膜窗口对中设置。本发明可实现对样品在液体腐蚀环境下力学测试,解决了目前透射电镜无法有效进行原位液体环境下力学测试的问题。 |