| 反射式近场光学偏振光谱仪 |
| CN202010464915.3 2020-5-27 发明申请 |
| 2021-12-3 |
| 一种反射式近场光学偏振光谱仪，包括：入射光发生模块、探针扫描显微模块和出射光检测模块，其中，探测光在入射光发生模块中经过整形和调制，发出不同偏振状态的探测光，入射光束聚焦至探针扫描显微模块的探针针尖上，探测光与探针针尖和样品表面构成的微纳空间结构相互作用，偏振状态发生变化，然后该光束的反射光/散射光由出射光检测模块收集后进行整形聚焦。本发明能够实现纳米级的超高横向空间分辨率，满足半导体关键器件对纳米级尺寸精确测量需求；可避免因使用透镜元件产生色差而造成的离焦问题；同时可通过保偏结构保证探测光经调制后的偏振态在经反射元件反射后到达探针时保持不变；并且具有与样品非接触、对样品无破坏性等优点。 |
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