| 近场光学偏振光谱仪 |
| CN202010464978.9 2020-5-27 发明申请 |
| 2021-12-3 |
| 一种近场光学偏振光谱仪，包括入射光发生模块，探针扫描显微模块和出射光检测模块，其中，入射光发生模块发出不同偏振状态的探测光，入射光束入射至探针扫描显微模块的探针针尖上，探测光与探针针尖和样品表面构成的微纳空间结构相互作用，偏振状态发生变化，然后该光束的散射光、透射光或反射光由出射光检测模块收集，通过对出射光偏振状态的解调获得相互作用中偏振态产生的变化信息，对该信息进行反演计算，就能够获得被测样品的相关信息。本发明能够实现纳米级的超高横向空间分辨率，满足半导体关键器件对纳米级尺寸精确测量需求，同时具有与样品非接触、对样品无破坏性等优点。 |
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