| 高通量极紫外多层膜光栅光谱仪 |
| CN202111030277.5 2021-9-3 发明申请 |
| 2021-11-30 |
| 本发明涉及一种高通量极紫外多层膜光栅光谱仪，包括狭缝、多层膜光栅、探测器、信号处理系统和真空腔体；被测样品、狭缝和作为分光元件的多层膜光栅置于真空腔体内，入射光打到被测样品上产生的极紫外信号通过狭缝入射至多层膜光栅上，从多层膜光栅上衍射出来的信号通过与真空腔体密封连接的探测器探测，探测器探测信号送信号处理系统处理，获得被测样品的极紫外吸收谱数据。采用了多层膜光栅作为分光元件，可以使得光谱仪中光栅的工作角度从掠入射变为近正入射，大幅提高了对光子的利用效率。本发明结构紧凑，并且在需要同等光通量时，相比现有技术，本发明使用小尺寸光栅基底的成本更低。 |
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