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原子力显微镜
JP2017250990 2017-12-27 发明申请
2019-7-18
[A]用于自动设置控制参数的控制电路可以用原子力显微镜执行。 [解决方案]使悬臂11与样品12接触,固定悬臂11的偏转量以扫描样品13的样品表面12。 在Z压电体,和位移Z压电体控制电路的悬臂偏转方向上位移试样基座,控制电路在参数设定部中设定控制参数。 参数设定单元基于通过扫描用于设定控制参数的样本的不均匀性而获得的数据。 图1[附图]
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