| 与用于修改物体的装置结合的宽视场扫描探针显微镜 |
| US16302142 2017-5-18 发明申请 |
| 2019-7-18 |
| 本发明涉及微纳切片后物体的探针测量领域。 本发明的实质在于，在结合用于修饰物体的装置的宽视场扫描探针显微镜中， 所述显微镜包括基座，在所述基座上具有压电扫描器的压电扫描器单元， 具有探针保持器的探针单元和具有冲头的冲头单元被可移动地安装，冲头致动器被构造为三轴致动器，允许冲头沿第一轴线X，第二轴线Y和第三轴线Z移动； 探针单元安装在冲头致动器上。 本发明的目的是通过组合成一个单元测量装置和一个修改物体的装置来简化该装置的结构。 本发明的技术效果在于提高了测量分辨率。 |
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