| 一种线宽压窄模块及准分子激光器 |
| CN202011231248.0 2020-11-6 发明申请 |
| 2021-3-12 |
| 本发明公开一种线宽压窄模块及准分子激光器，所述线宽压窄模块包括：棱镜组，所述棱镜组用于对激光的光束进行调整；反射镜，所述反射镜设置于所述棱镜组一端，所述反射镜用于将调整后的光束进行反射；光栅，所述光栅设置于所述棱镜组及所述反射镜的一侧，所述光栅接收反射后的光束，并与所述棱镜组配合对所述光束进行光谱控制，所述光栅包括相对设置的第一端及第二端，所述第一端靠近所述反射镜，且所述第一端的温度高于所述第二端的温度；以及吹气管，所述吹气管朝向所述光栅，所述吹气管开设多个吹气孔，靠近所述第一端的吹气孔的气流量大于靠近所述第二端的吹气孔的气流量。所述线宽压窄模块可以提高输出光谱的稳定性。 |
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