| 一种原位失效分析样品台及扫描电镜 |
| CN201910314190.7 2019-4-18 发明申请 |
| 2019-7-12 |
| 本公开提供了一种原位失效分析样品台及扫描电镜。其中，一种原位失效分析样品台，包括换向部，其包括第一锥形齿轮和第二锥形齿轮，所述第一锥形齿轮和第二锥形齿轮啮合；第一锥形齿轮套设固定在第一齿轮轴上；第二锥形齿轮套设固定在第二齿轮轴上；夹持部，其安装在第二齿轮轴端部，用于夹持样品；驱动部，其与第一齿轮轴相连，用于驱动第一锥形齿轮转动，带动第二锥形齿轮原位转动，进而带动样品绕第二齿轮轴360度转动，以实现样品的原位失效分析。 |
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