| 大尺度样品全域成分全自动扫查定位和定量分析系统 |
| CN201910330690.X 2019-4-23 发明申请 |
| 2019-7-16 |
| 本发明涉及一种大尺度样品全域成分全自动扫查定位和定量分析系统，属于材料表面表征技术领域，包括：高精度数控工作台系统、显微照相矩阵系统、GPU工作站群组、激光光谱仪、网络交换机与终端服务器；采用显微照相矩阵系统和GPU工作站群组，控制高精度数控工作台系统，对样品表面进行多群组显微拍照及图像数据处理，实现材料表面微观组织结构和夹杂物的识别、定位；采用激光诱导击穿光谱(LIBS)分析技术，对标定夹杂物进行制导分析，实现对夹杂物组成的表征。本发明提出的全自动跨尺度金相激光光谱原位分析系统创新性地将金相显微技术与LIBS分析技术结合，解决了跨尺度材料表面全域微观组织结构和夹杂物的识别、定位及组成的关键问题。 |
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