| 表面轮廓测量系统 |
| TW110111764 2021-3-31 发明申请 |
| 2021-11-1 |
| 本揭露一般关于一种物体(30)表面轮廓测量系统(20)该系统(20)包含：一光源组件(100)包含一宽频光源(110)；一共焦显微镜组件(200)包含????????????????????????????一分束器(210)用以将来自该宽频光源(110)的均匀光导引至该物体(30)；一针孔装置(220)包含一阵列的针孔(222)该针孔装置(220)被配置以使来自该分束器(210)的所述均匀光通过该等针孔(222)至该物体(30)；一组入射光学元件(230)用以将来自该针孔装置(220)的所述均匀光导引至该物体(30)并使通过该等入射光学元件(230)的所述均匀光造成色差；及该针孔装置(220)被配置以使来自该物体(30)的反射光通过该等针孔(222)至该分束器(210)所述反射光包含基于所述色差的该表面轮廓的光谱资讯；及一光学侦测组件(300)包含一光学侦测器(310)系接收来自该分束器(210)的所述反射光；及一组侦测光学元件(320)系将来自该分束器(210)的所述反射光导引至该光学侦测器(310)；其中根据该光学侦测器(310)接收的所述反射光的光谱资讯可以测量该物体(30)的该表面轮廓所述光谱资讯代表横跨该表面轮廓的高度。(20)(30).(20) : (100)(110); (200) : (210)(110)(30); (220)(222).(220)(210)(222)(30); (230)(220)(30)(230); (220)(30)(222)(210).; (300) : (310)(210); (320)(210)(310).(30)(310). |
微信公众号