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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

利用设计补偿扫描电子显微镜电子束畸变引起的计量误差

WOUS19012225 2019-1-3 发明申请

2019-7-11

公开了用于对用于计量操作的图像中的不均匀性进行量化和校正的方法和系统。可以使用晶片的计量区域图像和设计夹。所述计量区域图像可以是扫描电子显微镜图像。所述设计夹可以是晶片的设计夹或合成设计夹。可以量化和校正工具失真，包括电子束失真。可以将设计剪辑应用于度量区域图像以获得合成图像，从而抑制一个或多个过程变化变化并增强一个或多个工具失真。