| 一种用于校准扫描探针显微镜的方法 |
| CN201910083772.9 2019-1-29 发明申请 |
| 2019-7-9 |
| 本发明涉及物质形貌分析以及计量测试技术领域，尤其涉及一种可溯源的评估扫描探针显微镜测量物质高度的方法。它包括如下步骤：a.获得钛氧终止的钛酸锶(001)表面，表面大部分台阶为单台阶；b.利用扫描探针显微镜获得该表面的形貌图像，测量台阶高度；c.将所测得的台阶高度对比钛酸锶(001)钛氧终止面台阶的原子高度(0.3905nm)，获得扫描探针显微镜的在1nm尺度的校准系数。 |
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