| X射线荧光光谱仪 |
| US16465661 2017-11-21 发明申请 |
| 2019-10-3 |
| 本发明提供一种X射线荧光光谱仪，其结构简单，能够迅速进行高精度的分析。 根据本发明的X射线荧光光谱仪包括 : X射线源(100)，被配置为用初级X射线照射样品(103)； 分光装置(120)，其被配置为分散从样品(103)发射的二次X射线； 能量色散检测器(110)，被配置为测量次级X射线的强度； 缩回机构(108)，其被配置为从次级X射线的路径缩回分光镜装置(120)； 扫描机构(114)，其被配置为在用于在分光装置(120)缩回的状态下测量次级X射线的辅助测量区域(124)和用于测量分散的次级X射线的主测量区域(122)之间连续地移动检测器(110)； 存储装置(116)，被配置为预先存储在辅助测量区域(124)中测量的背景强度与在主测量区域(122)中测量的背景强度之间的比率； 以及运算器(118)，被配置为执行校正和定量分析，所述校正包括从主测量区域(122)中的测量强度中减去通过将辅助测量区域(124)中的背景强度乘以所述比率而获得的值。 |
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