| 一种用于痕量气体测量的激光光谱仪 |
| CN202120581608.3 2021-3-22 实用新型 |
| 2021-10-22 |
| 本实用新型提供一种用于痕量气体测量的激光光谱仪，包括气体监控管路，气体监控管路包括主监控管线和循环单元，循环单元包括依次连接的第二单向阀、光谱仪以及减压阀，循环单元与主监控管线的两端分别连接形成闭环回路，实现对气体的实时监控；光谱仪外部还设置有光谱仪温控装置，用于控制光谱仪所处环境的温度。本实用新型通过循环单元与主监控管线之间形成闭合环路，实现对气体压强以及流量的实时监控，保证检测环境的密闭性，避免造成环境污染；通过设置载气稳压单元和干燥单元，实现对流经气体压力和流量的控制和对流经气体的干燥，提高检测精度；通过设置光谱仪温控装置，实现稳定控制光谱仪所处环境的温度，提高对光谱仪的检测精度。 |
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