| 基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统 |
| CN201910137473.9 2019-2-25 发明申请 |
| 2019-7-5 |
| 本发明公开了一种基于Linnik型干涉显微镜的同步偏振相移检焦系统，包括白光光源、准直镜、第一1/4波片、激光光源，科勒照明系统、偏振棱镜、透反射镜、立方分光棱镜、两个显微物镜、参考平面、第二1/4波片、检偏镜、聚焦透镜、分光棱镜、x方向线阵CCD、y方向线阵CCD。白光光源产生白光，经准直，偏振等手段形成平面偏振光，经立方分光棱镜分光后，分别经两个显微物镜照射到参考平面和被测样品，返回光经分光棱镜分光后分别照射到x, y方向线阵CCD生成干涉条纹图像，根据图像离焦像差变化实现检焦。激光经柯勒照明系统后均匀出射，经偏振棱镜等反射，透过立方分光棱镜等直写样品。本发明具有数据处理快、实时定焦、获取被测样品位置及形貌信息的优点。 |
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