| 光谱信息获取系统，检查方法和制造方法 |
| US17136438 2020-12-29 发明申请 |
| 2021-7-8 |
| 所述光谱信息获取系统包括：照明光学系统，其被配置为照明正被移动的物体；以及光谱光学系统，其被配置为分散来自由所述照明光学系统照明的物体的光。 该照明光学系统包括：分离元件，被配置为将从光源发射的光束分离为具有第一偏振态的第一偏振光束和具有第二偏振态的第二偏振光束； 以及相位板，被配置为改变所述第一偏振光通量和所述第二偏振光通量中的至少一个的偏振状态。 第一偏振光束从第一方向照射物体，第二偏振光束从不同于第一方向的第二方向照射物体。 |
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