| 用于可调激光器的反射镜结构及可调激光器 |
| EP17908778 2017-12-6 发明申请 |
| 2020-2-5 |
| 本申请提供了一种用于可调谐激光器的反射器结构和可调谐激光器。 在反射器结构中， 采用超结构光栅作为反射镜结构， 在上部结构光栅所在区域的周围形成悬空结构， 为了实施， 采用悬挂式结构， 在上部结构光栅所在区域的周围进行热隔离， 由于热阻增大，热量损失少，热量集中在上部结构光栅所在的区域，提高了反射镜结构的热调谐效率，有利于降低可调谐激光器的整体功耗。 另外，在悬挂结构的两侧设置有侧向支撑结构，为悬挂结构提供机械支撑。 另外，所述超结构格栅中与所述悬挂结构同一侧的任意两个侧向支撑结构对应的区域在所述超结构格栅的空间周期内落在不同的位置。 这有助于避免在热调谐期间上部结构光栅的反射光谱的平坦度劣化，从而有助于避免可调谐激光器的性能劣化。 |
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