| 组合SEM-Cl和FIB-IOE显微镜 |
| KR1020180169785 2018-12-26 发明申请 |
| 2019-7-5 |
| 公开了使用包括扫描电子显微镜-阴极发光(SEM-Cl)显微镜和聚焦离子束-离子诱导光学发射(FIB-IOE)显微镜的显微镜系统来执行显微镜检查的示例性实施例。 根据特定实施例， 一种方法包括以下步骤 : 在第一显微模式下操作显微系统，其中电子束与样品位置中的样品相互作用并导致发射第一模式光子和电子，其中第一模式光子包括通过Cl工艺产生的光子； 以及以第二显微模式操作显微系统，其中离子束与样品位置中的样品相互作用并导致发射第二模式光子， 其中第二模式光子包括通过离子诱导发光过程产生的光子和通过原子去激发过程产生的光子。 |
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