| 照明光学系统，光学装置和光学显微镜 |
| JP2017240769 2017-12-15 发明申请 |
| 2019-7-4 |
| [a]在抑制光量损失的同时，能够在暗场照明光学系统中获得最佳照明。 将来自光源的照明光照射到照明光学系统的照射面， 2和3，来自光源L的照明光会聚聚光光学系统， 光瞳平面的会聚光学系统3会聚的照明光L， 光屏蔽区域5a的中央部分， 5b到半透明透光区的外周部分包括， 区域照明光L，其中光束通过孔径5形成光区域5b， 孔径光阑由照射光L照射到5个环状W的表面并照射到光学系统6的聚光器上而形成， 一个聚光光学系统，设置在孔径3和5之间的光路中， 所述照明光由会聚光学系统3L会聚，使得光束的入射角最大从而使透光区域5B的强度最大，照明光的角度分布L与控制系统7光束的角度控制。 图1[附图] |
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