| 一种降低电子显微镜中离轴像差的方法，装置及系统 |
| WOUS18066790 2018-12-20 发明申请 |
| 2019-7-4 |
| 本发明涉及一种用于电子显微镜的方法。 所述方法包括提供电子显微镜，产生电子束和图像束，调整所述束以及所述束和所述图像束中的一个以减小离轴像差，以及校正所得到的经修改的束的衍射图案。 本发明还涉及一种在透射电子显微镜中减少样品图像采集会话中的吞吐量时间的方法。 所述方法包括提供电子显微镜，产生光束和图像光束，调节所述光束和图像光束中的一个以减小离轴像差，以及过滤所得到的经修改的图像光束。 本发明还涉及一种电子显微镜和一种具有用于执行所述方法的计算机程序的非瞬态计算机可读介质。 |
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