| 多功能高分辨透射光栅X射线谱仪 |
| CN202110632692.1 2021-6-7 发明申请 |
| 2021-9-24 |
| 一种多功能高分辨透射光栅X射线谱仪，在真空室的前法兰至后法兰之间依次设置前光阑组件、滤膜组件、X射线晶体准直管组件、多功能透射光栅组件和后光阑组件，在所述的后光阑组件后是X射线CCD。该谱仪测量的波长范围为1nm?1μm(1.2eV?1.2keV)，测量波长精度最高为0.1nm。本发明通过晶体准直管对X射线的准直和聚焦，解决了目前其他透射光栅谱仪分辨率低和对X射线强度要求较高的缺点，通过多功能透射光栅组件的平动控制实现了多功能测量，既可利用透射光栅测量X射线光谱，又可以直接测量X射线的空间分布，还可以在多功能透射光栅组件中的样品台上放置样品实现X射线对样品的测量。 |
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