| 一种用于显微镜观察的操作装置 |
| CN201821922403.1 2018-11-21 实用新型 |
| 2019-6-28 |
| 本实用新型公开了一种用于显微镜观察的操作装置,包括安装板、转动支架、晶舟盒、控制器和底座,所述底座前端外表面固定安装有控制器,底座顶部固定安装有放置座、转动支架和晶舟盒,放置座和晶舟盒分别位于转动支架的两侧,晶舟盒内侧底部固定安装有若干斜插,所述斜插将晶舟盒内部分为若干个用于放置晶圆的腔体,放置座顶部开设有槽体,槽体内侧底部固定安装有光源灯,槽体的两侧上方固定安装有透光镜,放置座顶部开设有弧形槽,弧形槽与槽体一侧连通,放置座顶部固定安装有安装板。本实用新型结构简单,在操作过程中能够对晶圆进行精准的夹持,能够提高工作效率,通过还能避免晶圆损坏,从而避免产生碎片而对装置造成刮伤。 |