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电子显微镜
JP2018540547 2016-9-23 发明申请
2019-6-27
本发明解决了上述问题,将源极引出电极设置在NEG的外围,可以通过电子显微镜激活合适的温度。 本发明, 在装有电子枪的电子显微镜中, 所述电子枪为, 电子源, 以及引线电极, 加速管, 具有, 在管子的连接部分连接到引出电极, 其中加热器的第一和第二引出电极具有NEG,其中第一加热器和第一NEG沿轴向从电子源发射并与电子显微镜间隔开。
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