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使用多频原子力显微镜的材料性能测量

US16286196 2019-2-26 发明申请

2019-6-27

本发明描述了用于在原子力显微镜和相关MEMS工作中提取振荡悬臂或其它振荡传感器的较高本征模态或谐波中携带的信息的设备和技术。本发明还描述了使用具有多个激励信号的接触谐振来提取信息的类似装置和技术。