| 单体高深宽比微孔深度的光谱测量系统与方法 |
| CN202010837882.2 2020-8-19 发明申请 |
| 2020-11-13 |
| 本发明一种单体高深宽比微孔深度的光谱测量系统与方法，包括光源模块(100)、光束分束模块(200)、样品测量模块(300)、微光斑调控模块(400)、光谱采集模块(500)和图像采集模块(600)；利用微光斑调控方法实现针对单体微孔的光谱测量，利用大视场与微光斑照明的叠加光强图像定位待测单体微孔；通过调整微光斑面积以匹配不同直径的微孔。与现有技术相比，本发明的光学系统中没有滤光片等损失光波长信息的光学元器件，保证了测量光谱的波长范围；光源由光纤耦合，降低光源散热对光学系统稳定性的影响；光纤光谱仪提高了互换性，便于匹配不同结构深度的测量需求。 |
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