| 用于在激光维持等离子体光源中提供VUV过滤的等离子体单元 |
| US15895868 2018-2-13 发明申请 |
| 2018-6-21 |
| 一种用于激光持续等离子体光源的等离子体电池，包括等离子体灯泡，所述等离子体灯泡被配置为包含适于产生等离子体的气体。 等离子体灯泡对来自泵浦激光器的光是透明的，其中等离子体灯泡对等离子体发射的照明的可收集光谱区域的至少一部分是透明的。 等离子电池的等离子灯泡被配置成过滤由灯泡内维持的等离子体发射的短波长辐射，例如VUV辐射，以防止短波长辐射撞击灯泡的内表面。 |
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