| 光谱测定用发生器 |
| DE102020106692 2020-3-11 发明申请 |
| 2021-9-16 |
| 本发明涉及一种用于在光谱法中产生电感耦合等离子体的高频等离子体发生器(1), 包括直流电压源形式的电压供给装置(2), 与电流供给装置(3)连接,产生高频电力的振荡电路(2); 包括由四个晶体管(T1-T4)组成的全桥电路, 并且每个晶体管(T1T4)具有栅电极(E1E4),通过栅电极(E1E4)将晶体管(T1T4)连接到栅控制电压(Uw),并且其中晶体管(T1T4)被交替切换以产生高频功率, 负载电路(3), 该负载电路(4)包括至少一个感应线圈(Ip)和一个电容(Cp)以及一个栅极控制电路(5),该栅极控制电路(5)用于产生用于开关晶体管的栅极驱动电压(Uw)。 栅极控制电路(5)被配置为脉冲振荡电路的等离子体振荡频率(Fp)的预定值。 此外,本发明涉及一种具有根据本发明的高频等离子体发生器的光谱仪。 |