| 组合SEM-Cl和FIB-IOE显微镜 |
| US16231039 2018-12-21 发明申请 |
| 2019-6-27 |
| 本发明公开了使用将扫描-电子显微镜-阴极发光(SEM-CL)显微镜和聚焦离子束离子诱导光发射(FIB-IOE)显微镜相结合的显微镜系统来执行显微镜检查的示例性实施例。 某些实施例包括在第一显微镜模式下操作显微镜系统，其中电子束在样品位置处与样品相互作用并导致发射第一模式光子和电子，第一模式光子包括通过阴极发光过程产生的光子； 以及在第二显微镜模式下操作显微镜系统，其中离子束与样品位置处的样品相互作用并导致发射第二模式光子， 所述第二模式光子包括通过离子诱导发光过程产生的光子和通过原子去激励过程产生的光子。 |
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