产业集群信息网

产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

等离子体处理装置

JP2018005761 2018-1-17 发明申请

2019-7-25

[问题]响应于等离子体处理装置的状态变化，高精度地预测处理结果。 [解决方案]一种等离子体处理装置的等离子体发射监视器(光谱仪12)部分10，包括样品1中的等离子体处理，处理部分10，在存储部中存储预测模型，预测等离子体处理的模型结果，预测基于使用预测模型选择的发光控制部的数据处理装置的指标数据的变化，并提供等离子体处理结果。图1[附图]