| 样品表面和内部的光检查系统和方法 |
| EP17382427 2017-7-3 发明授权 |
| 2019-4-17 |
| 所述系统包括 : 光源(10)，其产生光束(LB)以照射到样品(1)上； 一种成像系统(20)，其获得所述样品(1)的图像，并且包括具有孔的抛物面反射镜(21)，以允许光束(LB)朝向样品(1)通过， 将样品(1)的散射光分量重定向到包括一束分叉纤维(15)的光捕获单元，并消除来自样品(1)处的直接反射的光； 所述纤维束(15)具有中心纤维(17)和至少一根外部纤维(16)，所述中心纤维(17)接收来自表面(1s)的散射光，所述外部纤维(16)接收来自样品(1)内部(11)的散射光； 以及测量系统(30)，用于测量独立地收集在中心光纤(17)和外部光纤(16)中的功率和/或光谱。 |
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