| 一种宽光谱椭偏光学系统 |
| CN202110564091.1 2021-5-21 发明申请 |
| 2021-9-7 |
| 本发明涉及一种宽光谱椭偏光学系统，包括起偏组件和检偏组件；所述起偏组件包括光源、离轴椭圆形反光镜、视场光阑、离轴抛物镜、第一孔径光阑、起偏器、第一相位延迟器、汇聚透镜；所述检偏组件包括准直透镜、第二孔径光阑、第二相位延迟器、检偏器、耦合透镜、光谱仪；所述起偏组件与所述检偏组件工作时沿样品台的法线方向对称放置，且起偏组件与检偏组件间的光路夹角θ为50°＜θ＜180°。本发明利用离轴椭圆形反射镜在不引入色焦移的情况下将193?1700nm宽光谱光源汇入视场光阑，全光谱能量利用率一致。通过视场光阑控制样品面光斑尺寸。采用离轴抛物镜对通过视场光阑的光束进行了193?1700nm全波段无色差准直，全光谱能量准直度一致。 |
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