| 成分组成计测系统及成分组成计测方法 |
| CN201780030052.5 2017-5-15 发明申请 |
| 2019-1-4 |
| 成分组成计测系统具备:对计测对象照射具有产生等离子体程度的强度的第一激光(L1)的第一激光光源、对计测对象照射具有不产生等离子体程度的强度的第二激光(L2)的第二激光光源、根据对计测对象照射第一激光而产生的等离子体的发光来测定表示各波长的强度的发光光谱的光谱测定装置、使用所测定的发光光谱的数据分析计测对象的组成的控制装置。第二激光光源在第一激光(L1)的照射开始前,开始照射第二激光(L2),在第一激光(L1)的照射结束后,结束照射第二激光(L2)。 |