| X射线谱仪 |
| WOJP17018701 2017-5-18 发明申请 |
| 2018-11-22 |
| 本发明涉及一种X射线光谱仪被提供有 : 激发源激发光照射到照射区域12的样品S的杂原子，衍射部件(14)以朝向照射区域，狭缝部件(13)和衍射照射区域之间设置部件(14)具有狭缝平行于照射区域的衍射元件14和指定表面上，X射线线性传感器15具有光入射面由多个检测元件设置狭缝垂直于纵向方向的方向上，第第一移动机构用于改变样品表面和规定表面之间的角度和/或距离通过移动样品表面和指定表面衍射元件的纵向方向垂直的平面内，第第二移动机构和用于定位所述X射线线性传感器的特征性的X-射线路径上已经通过所述狭缝被衍射的预定表面移动的X射线线传感器垂直于纵向方向的平面。 |
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