飞行时间型带电粒子光谱仪
 
JP2017145054  2017-7-27  发明授权

2021-9-1
 
  一种用于执行带电粒子光谱学的设备,包括:源(4,12),用于产生沿光束路径传播的带电粒子的脉冲光束; 样品保持器(H),用于将样品(S)保持在所述光束路径中的照射位置; 检测器装置(34),用于对横穿所述样品的带电粒子进行能量差分检测,其中,在所述源和所述检测器装置之间,所述束路径依次横穿:激励腔(14),用于向所述束施加与时间相关的加速场; 主漂移空间(14'); 所述照射位置; 时间聚焦腔(16),用于将所述光束中的能量差转换为飞行时间差; 次级漂移空间(16')。
 
仿站