| 高分辨率集成光学的基础的分光计 |
| WOIB17055873 2017-9-26 发明申请 |
| 2018-3-29 |
| 本发明公开了一种高分辨率单芯片光谱仪。本发明的实施例类似的傅里叶变换光谱仪；然而，本发明的实施例没有运动部件。说明性实施方案是具有多个嵌套马赫-曾德尔干涉光谱仪(某)，其中所有的波导MZI的共享至少一个表面部分在其每个样品臂和参考臂中。在样品臂和参考臂的光信号攻有一系列沿其长度的离散位置一种通过电-光控定向耦合器，通过等长度的波导分开的部分，在每一个臂，但不同长度一致的样品臂和参考臂中提供不同的路径长度差每一个MZI的臂。所述抽头从样品臂和参考臂的光重新组合以低损耗合束器产生作为时间的函数的光功率分布的延误差。 |
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