| 用于表征化学强化的透明基材中的应力的混合系统和方法 |
| US16825338 2020-3-20 发明申请 |
| 2020-9-24 |
| 该混合测量系统包括瞬逝棱镜耦合光谱(EPCS)子系统和光散射偏振(LSP)子系统。 EPCS子系统包括EPCS光源，EPCS光源通过EPCS耦合棱镜光学耦合到EPCS检测器系统。 LSP子系统包括光学耦合到光学补偿器的LSP光源，光学补偿器又通过LSP耦合棱镜光学耦合到LSP检测器系统。 支撑结构支撑EPCS和LSP耦合棱镜以限定耦合棱镜组件，该耦合棱镜组件在测量位置支撑两个棱镜。 使用EPCS和LSP子系统进行的应力测量被组合以完全表征透明化学强化衬底的应力特性。 还公开了处理EPCS和LSP测量以提高测量精度的方法。 |
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