| 用于全内反射(TIR)显微镜的装置和方法 |
| EP17306916 2017-12-22 发明申请 |
| 2019-6-26 |
| 按照第一方面，本发明涉及一种用于样品(S)的TIR显微检查的装置，包括 : 用于接收样品的支撑件(210)； 一种照明路径，包括空间相干光源(220)和显微镜物镜(230)， 其中所述照明路径被配置为形成用于照明所述载体和样品之间的界面(211)的至少第一照明光束(I1)， 所述第一照明光束具有适于在所述界面处进行全内反射的第一方位角(ph1)和第一极角(th1)，从而在样品中形成第一渐逝电磁场(EE1)； 包括所述显微镜物镜和第一二维光学获取装置(240)的至少第一检测路径， 其中所述第一检测路径被配置为获取由至少第一参考电磁场(ER1)和至少第一反向散射信号电磁场(ES1)之间的光干涉产生的至少第一干涉图(N1)， 其中所述第一参考电磁场(ER1)由所述第一照明光束在所述界面处的全内反射产生，所述第一后向散射信号电磁场(ES1)由所述第一渐逝电磁场(EE1)的样品的后向散射产生； 以及计算设备(250)，被配置为从所述至少第一干涉图计算与所述样本相关的物理参数的至少一个图。 |
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