| 使用UV LED制造柔性钙钛矿结构的快速金属氧化物层特异性光子处理 |
| US16247055 2019-1-14 发明申请 |
| 2019-7-18 |
| 形成含钙钛矿薄膜的方法,包括在衬底上沉积一层或多层金属氧化物层; 以及在沉积之后用UV LED光源照射每个金属氧化物层,以烧结和/或退火所述一个或多个金属氧化物层中的目标金属氧化物而不损坏下面的衬底或钙钛矿材料。 可以选择LED光源以发射窄光谱宽度的脉冲辐射。 所发射的辐射可以基本上由目标金属氧化物的最大吸光度(lamax)波长的20nm内的波长组成,即,来自UV LED的波长可以是lamax±20nm,以实现金属氧化物电荷传输层的层特异性退火和烧结。 所述目标金属氧化物可以包括电子传输层中的氧化锡或空穴传输层中的氧化镍。 也公开了由本文所述方法形成的含钙钛矿的膜。 |