具有半透明光电阴极的真空光电器件的光电阴极组件
 
EP17831423  2017-6-14  发明申请

2019-5-29
 
  本发明涉及在紫外光谱区域中工作的真空光电器件的光电阴极组件,其包括基于氮化镓化合物的光电阴极, 可用于通过单独加工光电阴极和外壳部件制造的近场聚焦直视电子光转换器,光电倍增管和微通道增强位置敏感探测器的设计。 在具有半透明光电阴极的真空光电器件的光电阴极组件中,在蓝宝石盘形式的输入窗口的内表面上生长氮化镓化合物的异质外延结构层作为半透明光电阴极。 一个由双金属制成的元件,用于将输入窗口与真空光电器件的外壳连接,该元件在输入窗口的外表面的周边处真空密封地连接到输入窗口的外表面。 不与输入窗口的外表面接触的双金属层由线性热膨胀系数与蓝宝石的线性热膨胀系数在20℃至200℃的温度范围内相差不大于10%的材料组成。 本发明扩大了半透明光电阴极真空光电器件的光电阴极组件的应用范围, 提高真空光电器件的光电阴极组件的半透明光电阴极的量子产率, 在邻近聚焦直视电子光学转换器中使用光电阴极组件的情况下,允许满足在真空光电器件的屏幕的操作场上的均匀分辨率的要求。
 
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