| 一种基于平面变周期透射光栅的光学位移传感系统 |
| CN202110522177.8 2021-5-13 发明申请 |
| 2021-8-10 |
| 本发明公开了一种基于平面变周期透射光栅的光学位移传感系统，属于机械测试领域，包括变周期透射光栅、准直器组、检测光源、光谱仪、连接杆、步进电机和控制箱，所述准直器组安装在所述连接杆上，所述准直器组包括第一准直器和第二准直器，所述第一准直器通过光纤连接所述检测光源，所述第二准直器通过光纤连接所述光谱仪，所述第一准直器与所述第二准直器分别位于所述变周期透射光栅两侧且关于变周期透射光栅垂直对称，所述连接杆与所述步进电机的输出端相连，所述步进电机与所述控制箱电连接。本发明能够实现绝对位移测量、有效预防电磁干扰、电磁感应以及雷电引起的电磁冲击，并且对物体位移量的检测灵敏度高，线性度好。 |
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