| 一种双光源白光干涉仪 |
| CN202022761333.X 2020-11-25 实用新型 |
| 2021-8-10 |
| 本实用新型公开了一种双光源白光干涉仪，包括第一红光LED、第一透镜、第二透镜、第一分光棱镜、第三透镜、窄带滤光片、第四透镜、第二红光LED、第一LED光源座、第一压盖、第二压盖、第一棱镜座、透镜隔圈、窄带透镜座、透镜压圈以及干涉系统构件，所述第一分光棱镜位于第一棱镜座的顶部，所述第四透镜设置于第一分光棱镜的一侧处，且所述第四透镜的外部处设置有透镜压圈，所述第二透镜设置于第一分光棱镜靠近于第四透镜的一侧处，本实用新型通过在原有的红光LED光源的基础上，增加一个窄带光源，窄带光源光谱宽度很小，相干性好，相干长度长，可测量台阶高度差较大或者表面轮廓起伏较大的样品，增强了仪器的适用性。 |
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