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显微拉曼光谱分析仪
JP2020008654 2020-1-22 发明申请
2021-8-10
“问题”实现对表面具有凹凸形状的样品具有高分析精度的显微拉曼光谱分析装置。 “解决问题的手段”显微拉曼光谱分析仪包括:用于在样品中形成照明光的光束点的送光系统,用于检测来自在样品中形成的光束点的散射光中波长与照明光不同的拉曼散射光的检测系统,作为由送光系统引起的照明光的孔径数的照明孔径数,或检测系统检测出的可变散射光的孔径数。 图1是选择图。
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