| 方法。 用于能量色散X射线光谱学的粒子束系统和计算机程序产品 |
| DE102020102502 2020-1-31 发明申请 |
| 2021-8-5 |
| 本发明涉及一种用于物体(25)的能量色散X射线光谱学的方法，粒子束系统和计算机程序产品。 该方法包括：在物体(25)的光栅区域上光栅化粒子束(13)，由此从物体(25)的光栅区域到一个带电粒子(43.54)并发射到另一个X射线辐射(53)； 用用于检测带电粒子的粒子检测器(17，48)检测从物体(43，54)的光栅区域发射的带电粒子(25)。 基于由粒子检测器(43，54)检测到的粒子(17，48)产生光栅区域的图像； 用基于所检测的X射线辐射(53)的那部分的能量色散X射线光谱至少检测从光栅区域的子区域(47)发射的X射线辐射(53)。 通过粒子束(13)从物体(25)在光栅区域的子区域上的扫描而发射，该部分区域的面积小于光栅区域的面积。 |
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