| 利用由显微镜物镜聚焦的光束扫描样品的方法和扫描光显微镜 |
| EP17207573 2017-12-15 发明申请 |
| 2019-6-19 |
| 在显微镜物镜(6)的上游, 利用第一电光偏转器(8)使光束的偏振方向在第一偏振方向和第二偏振方向之间倾斜,第一偏振方向使光束(3)由第一偏振分束器(28)偏转第一角度,第二偏振方向使光束偏转 以第二角度。 具有第二电光偏转器(9), 光束(3)的偏振方向在第二偏振分束器(28)使光束(3)偏转第三角度的第三偏振方向和第四偏振方向之间倾斜。 在第一空间方向上,第三和第四角度之间的第二角度差约为第一和第二角度之间的第一角度差的两倍。 |